藍特光學
LANTE OPTICS
制程
光刻膠涂布
旋涂
膠厚精度≤3%
(適用于平面)
噴涂
膠厚精度≤10%
(適用于平面/凹凸面)
光刻
精度 2um
套準精度:0.15um
顯影
精度2um
顯影均勻性<5%
蝕刻
公司擁有歐洲進口高精度光刻線,產品最小線寬2um,可以根據客戶要求定制。
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