参数 | 玻璃晶圆片规格 |
材料 | 玻璃、石英等 |
外径 | 4”、6”、8”、12”等 |
外径公差 | +/-0.01mm |
最小厚度 | 0.2mm(<6”)、0.3mm(8”)、0.35mm(12”) |
TTV | <1μm |
BOW | <20μm |
WARP | <30μm |
外观 | 20-10 |
粗糙度 | Ra<0.2nm |
倒边 | 45°,C0.2+/-0.1mm |
镀膜 | 增透膜、反射膜、分光膜等 |
* 备注:可以根据客户需求定制 |
参数 | 玻璃晶圆片规格 |
材料 | 玻璃、石英等 |
外径 | 4”、6”、8”、12”等 |
外径公差 | +/-0.01mm |
最小厚度 | 0.2mm(<6”)、0.3mm(8”)、0.35mm(12”) |
TTV | <1μm |
BOW | <20μm |
WARP | <30μm |
外观 | 20-10 |
粗糙度 | Ra<0.2nm |
倒边 | 45°,C0.2+/-0.1mm |
镀膜 | 增透膜、反射膜、分光膜等 |
* 备注:可以根据客户需求定制 |